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- [发明专利]加热腔室-CN201610110743.3有效
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王建勋;谢军
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广东思沃精密机械有限公司
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2016-02-29
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2018-01-02
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B32B37/06
- 一种加热腔室，包括上腔体构件、下腔体构件及真空发生器，下腔体构件与上腔体构件与之间形成有进入通道；真空发生器分别与上腔体构件和下腔体构件相连接。在对贴附有薄膜的非平整板材的加热对象进行加热时，通过真空发生器对上腔体构件抽真空，待其抽真空至指定值时，使下腔体构件破真空，以使贴附在非平整板材上的薄膜压向贴合在非平整板材上；接着，向下腔体构件通入高压气体，以增加薄膜压向贴合在非平整板材上的贴合压力；达到指定时间后，使上腔体构件破真空，并使下腔体构件排出高压气体；接着，使下腔体构件远离上腔体构件，直至回到初始位置；最后，使已加热的贴附有薄膜的非平整板材离开进入通道
- 加热
- [实用新型]加热腔室-CN201620152745.4有效
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王建勋;谢军
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广东思沃精密机械有限公司
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2016-02-29
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2016-10-12
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B32B37/06
- 一种加热腔室，包括上腔体构件、下腔体构件及真空发生器，下腔体构件与上腔体构件与之间形成有进入通道；真空发生器分别与上腔体构件和下腔体构件相连接。在对贴附有薄膜的非平整板材的加热对象进行加热时，通过真空发生器对上腔体构件抽真空，待其抽真空至指定值时，使下腔体构件破真空，以使贴附在非平整板材上的薄膜压向贴合在非平整板材上；接着，向下腔体构件通入高压气体，以增加薄膜压向贴合在非平整板材上的贴合压力；达到指定时间后，使上腔体构件破真空，并使下腔体构件排出高压气体；接着，使下腔体构件远离上腔体构件，直至回到初始位置；最后，使已加热的贴附有薄膜的非平整板材离开进入通道
- 加热
- [发明专利]PVD去气加热腔-CN201310750635.9有效
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刘红义
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北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
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2013-12-31
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2015-07-01
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C23C14/22
- 本发明涉及一种PVD去气加热腔，包括腔体、多块反射板、支撑装置、加热装置与冷却装置；所述腔体起屏蔽作用，包括侧壁、第一密封盖与第二密封盖；所述侧壁围成中空筒，所述第一密封盖与所述第二密封盖分别置于所述中空筒的两端开口上围成一个封闭的空腔；所述反射板置于所述空腔的内壁上；多块所述反射板分别布置在所述侧壁、所述第一密封盖与所述第二密封盖上；所述支撑装置置于所述空腔内，并固定于所述第一密封盖上，所述支撑装置用于承载基片；所述加热装置置于所述空腔内，并固定于所述第二密封盖上，所述加热装置用于加热基片；所述冷却装置中通入冷却水，用于快速地降温，避免加热不均和产生无源热源。
- pvd加热
- [实用新型]微波破碎装置加热腔-CN202122291122.9有效
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张小飞;侯贺;王钢;李东伟
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大连威凯特科技有限公司
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2021-09-22
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2022-03-01
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B02C19/18
- 本实用新型提供一种微波破碎装置加热腔。本实用新型包括内壳体、外壳体、设置于内壳体与外壳体之间的保温层、输送机构以及微波加热机构，输送装置用于将待破碎物料输送至内壳体中，内壳体为石英板组成的方形石英框架，外壳体为不锈钢板搭建的底部方形、顶部梯形结构，所述微波加热机构包括多个微波发生器，外壳体上设有多个微波发生器，以内壳体中心线为轴方向，同轴的所述微波发生器以间隔阵列形式排布。本实用新型通过底部方形、顶部梯形结构的不锈钢结构，在其上设置间隔阵列形式排布的微波发生器，加热腔本体微波电磁场分布均匀，同时能够有效防止微波外溢，多组微波发生器同时作用，加快了微波加热时间，提高了微波加热效率
- 微波破碎装置加热
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